簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "技術".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="半導體微影製程"


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    設計及製備可植入型電化學式生物感測器陣列結合參考及輔助電極之微探針應用於穀氨酸感測
    • 化學工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 陳泓儒 指導教授: 曾婷芝
    • 本研究利用半導體微機械加工製程技術製備植入型微電極陣列感測探針,其中包含光罩設計與半導體加工製程兩大重點方向,在光罩設計方面,我們以繪圖軟體Auto CAD設計繪製光罩上元件圖樣,本製程包含三道光罩…
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    • 全文公開日期 2022/07/28 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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